相对于扩散泵的生产企业数量和生产总量来说，国内扩散泵在产品性能检测方面还相对落后。目前很多企业尚没有自己的性能测试系统，对泵产品在出厂前的性能指标缺乏实际检测。国内现有的相关检测系统都采用全手动操作方式，对操作人员有较高的专业知识和实验技能要求，需经过专门培训才能胜任此项工作，而且测试数据精度受许多人为因素的影响，这些都为生产厂家自己独立开展扩散泵性能测试增加了难度。

    针对这一现状，本文研制了一套扩散真空泵性能的自动测试系统。下面将就该系统的测试原理、系统的硬件与软件构成、研制过程所遇到的技术难点和解决措施作以介绍。

　　1、自动测试系统的测试原理

    该套测试系统对扩散泵的极限压力和不同入口压力下的抽速曲线的测试原理与方法，完全参照相关国家标准的规定执行。其中扩散泵抽速曲线的自动检测，采用“定压法”原理测试。对应每一个测压点的测试步骤是：在工作阀开启的条件下，利用针阀调节充入测试罩的气体流量Q，使测试罩内的平衡压力p稳定在预期的压力值附近；关闭工作阀，依次记录滴管内液柱到达液位高度h1和h2的时间t1和t2；通过计算液柱净升高度h=h2-h1和上升所需时间t=(t2-t1)，利用下式求得对应压力下的体积流率，即抽速。

　　S=Q/P=Kh/Pt

    式中S———被测真空泵抽气速率，L/s

    Q———流过泵口的气体流量，Pa·L/s

    p———测试罩内规定位置的平衡压力，Pa

    h———滴管内液柱上升净高度，mm

    t———滴管内液柱上升所需时间，s

    K———滴管函数，Pa·L/mm。浙江真空泵厂家--温州池翔机器制造有限公司